薄膜厚度測量
薄膜測量系統是專門針對半導體、材料、生物醫學薄膜的實驗室分析及在線監測開發的，用于測量薄膜反射率及膜層厚度的綜合測量系統。該系統基于白光反射及干涉的原理來確定光學薄膜的厚度。可以通過對白光干涉圖樣進行數學運算來計算出薄膜厚度。對于單層膜來說，如果已知薄膜的n和k值就可以計算出它的物理厚度。
AvaSoft-Thinfilm軟件內有一個包含大部分常用材料和膜層的n值和k值的數據庫。TFProbe多層膜測量軟件可以測量多達5層膜的厚度和光學常數（n、k值），實現實時或在線膜厚和折射率監控。
參數指標：
光譜范圍 200~1100nm 測量速度 2 ms minimum
膜厚范圍 10nm~200μm基底厚度up to 50mm thick
分辨率 1nm 測量精度 better than 0.25
典型應用領域：
Semiconductor fabrication (PR, Oxide, Nitride..) 半導體制造
Liquid crystal display (ITO, PR, Cell gap…..) 液晶顯示器
Forensics, Biological films and materials 醫學、生物薄膜或材料
Inks, Mineralogy, Pigments, Toners 印刷油墨，礦物學，顏料，碳粉
Pharmaceuticals, Medial Devices 制藥
Optical coatings, TiO2, SiO2, Ta2O5….. 光學薄膜
Semiconductor compounds 半導體化合物
Functional films in MEMS/MOEMS 功能薄膜材料
Amorphous, nano and crystalline Si 非晶硅
AvaSoft-Thinfilm應用系統可以搭配多種應用系統附件，例如光纖多路復用器、顯微鏡、過真空裝置等附件，實現多點位同時測量、微區測量、過程監控等復雜領域的應用。 例如：AvaSoft-Thinfilm應用系統能夠實時監控膜層厚度，并且可以與其他AvaSoft應用軟件如XLS輸出到Excel軟件和過程監控軟件一起使用。
